1)主要用于单、多晶硅太阳能电池 片生产,刻蚀后的清洗。 2)工艺流程: 上料→HF腐蚀+氮气鼓泡→QDR +氮气鼓泡+喷→ 下料→离心机甩干 3)设备采用单臂机械手,其工艺时间可以 自行调节。能显示温度曲线、浓度变化 曲线,及各个工位的工作状态。酸槽具 有自动补液装置,可实现无间断生产。 具有设备报警说明,报警历史查询功能。 对清洗用纯水有电阻率监测装置,能存 储10个以上工艺方案; 4)标准工艺下产量:125mm×125mm、 156mm×156mm,210mm×210mm 的硅片,厚度为160±30——200±30 微米的硅片,硅片产能不低于1200片/小时 设备开工率>92﹪,碎片率≤3‰。